總工程師當然不認為康碩真的能夠解決問題,而且實驗室是非常機密的地方,就算是他也沒有權利隨便就帶人進去參觀。
這些規矩康碩當然也清楚,他本來也沒指望自己一句話就能讓總工程師深信不疑,畢竟還沒打過交道。
不過,康碩有的是辦法,他接著說道:“光刻工藝過程中,自動傳輸裝置將晶圓送入光刻機,首先的操作就是掩模與晶圓的預對準。
“隨后視像自動對準系統啟動,通過工業相機從光刻機的顯微鏡相機接口獲取含有掩模和晶圓對準標記的圖像,然后計算機圖像處理算法會分別獲取掩模和晶圓的對準標記中心坐標。
“跟著這個標記就可以計算出掩模和晶圓對準標記中心坐標差,精確控制光刻機掩模臺的移動,經過反復圖像分析和調節,最終完成掩模和晶圓自動對準。”
“我猜,你們的數據就是在這個時候開始走向偏離的,你們每次獲取的坐標都各不一樣,對準系統工作也有一些紊亂,對嗎?”
康碩笑的十分自信,總工程師那表情簡直就像是大白天見了鬼:“你……你怎么知道?”
康碩沒有回答他的這個問題,而是接著把光刻機視像自動對準系統所有的流程全部給他分析了一遍,包括其中最可能出現的問題。
這個流程可是復雜的很,從晶圓自動載入開始:
晶圓自動載入→預對準→采集圖像→搜索對準標記→計算坐標差→控制掩膜平臺移動對準→反復重復上述過程的粗調精調→自動曝光→晶圓移出。
到晶圓移出結束。
這整個過程所有可能出現問題的環節,康碩那是一一剖析,聽得總工程師目瞪口呆:
這完全不符合常理啊,這年輕人真是西州大學大三的學生?確定不是阿斯麥的資深工程師?這也太離譜了吧?
“你是怎么知道這些的?”雖然不該問,但總工程師還是沒忍住,如此問道。
“也沒什么難的啊,知網里論文一大堆,流程都能查到啊!”
康碩理所當然的說道:“這些流程在腦子里多過幾遍,哪兒有問題那不是一目了然的嗎?”
“看論文……一目了然……”
總工程師突然覺得自己這幾十年白活了:論文他也看啊,他不但看,他還寫呢,他寫的論文知網里就有不少!
流程就更不用說了,不管是在實驗室還是在產線上,光刻流程他一遍一遍跟,都沒落下過,可以說是一步一步的流程全都印到腦子里了,他怎么就沒看出那么多問題來?
“康先生真的是聰明絕頂!”最后,總工程師只得無奈的這么說道,內心頗受打擊。
“總工程師可以思考一下,我說的這些問題,你們在實施的過程當中遇到了幾個。”康碩沒有謙虛的反駁,認下了他很聰明這個說法。
聰明就是康碩要立的人設,他就是要讓過目不忘和見微知著成為他的標簽,這樣很多的問題都能解釋了。
“遇到了幾個……”總工程師一回想,那是直接欲哭都無淚:“你所說的問題,我們好像一個不落的全都踩了,或輕或重。”
康碩點了點頭:“那就能解釋為什么你們最好能做到20nm,最差卻連90nm都達不到了。”
“剛剛說的問題康先生都能解決?”總工程師小心翼翼卻又滿懷期待的問著。
康碩點了點頭,不能解決的問題也不是沒有,但這些問題他剛剛都沒有說,說的那都是能解決的。
“那行!”總工程師立即起身:“我立即向領導報告這件事兒,解決方案對我們極為重要,一定不會讓你吃虧的。”
“先不著急,明天我們先進實驗室看一看,我需要確定最終的問題是不是就是我說的這些,確定了之后再向領導匯報也不遲。”
康碩頗為謹慎,光靠嘴說有時候并不保險,他必須親自去檢驗一番。
“沒問題,這個我來安排!”說著,總工程師立即就去申請授權了,比任何時候都積極。
實驗室之行并沒有發生任何意外,果真就是哪些問題,通過改進前饋控制算法、視像自動對準系統、超精密光柵尺位移測量系統、以及偏振調試和高精度膠面檢測等等這些,問題就能解決。
正如總工程師說的那樣,硬件確實是達標的。
“總工,我統計過了,大約需要改進5大系統87個子系統,這些問題處理完了之后,光刻精度達到28nm是綽綽有余的。”
康碩接著說道:“這幾天我需要回西州參加高通的新品發布會,等那邊結束了,我們再具體對接技術方案,商業方案這一塊咱們就不參與了,我委托我們的人跟你們商業人員談,這些東西我不擅長,相信總工程師也不喜歡。”
總工程師有些不能理解,去參加高通的新品發布會那么重要嗎?不去不行嗎?不過既然康碩要去,他自然沒有理由攔著,縱然他心里特別焦急。
不過康碩說的這一點他是認同的,他確實不擅長商業上的會談,他只知道這技術他想要,過一會兒他就去跟領導吹風……
從滬都微電子的實驗室出來,康碩立即聯系于東:“于總,讓你們的人立即開始做PPT!”
“做PPT?做什么PPT?”于東納悶。
“新品芯片發布會的PPT啊,”康碩解釋道:“如果不出意外,一個月內我們就能拿到兩臺28nm精度的光刻機。
“哪怕經過產線調試等一系列流程,三個月足夠我們出第一批芯片了,哪怕數量少一些也沒關系,根據你預測的三星的4nm芯片的進展情況,高通898還不一定有我們先出!”
“你確定?”于東瞬間瞪大了眼睛:“滬都微電子那邊就算問題已經解決了,出貨也需要時間吧?”
“他們實驗室里,SSA800系列光刻機已經組裝了三臺,是用來做實驗和評估的。我幫他們解決問題,問題解決之后,后續的實驗和評估一臺就夠了,這兩臺正好賣給我,反正本來也是要賣的。”
康碩一開口于東就明白了,如此,滬都微電子確實沒有拒絕的理由:“不過,你確定要跟高通打擂臺?”
“于總,你說混沌科技的5G射頻芯片怎么樣?好用嗎?”康碩沒有正面回答,而是反問道。
“好用啊!”
“那為什么除了你們連一家找上門來的都沒有?”
康碩不大的聲音中透露著絕對的霸氣:
“高通真以為自己說一別人就不能二了?在我們的地盤上,反了他了還!”
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